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ASML下一代EUV光刻机启动:核心部件到货

2022-07-22 09:46:10来源:快科技 阅读量:12953

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导读:在本季度中,ASML公司下一代的高NA孔径EUV光刻机获得了重大突破,已经收到了来自供应商的物镜、光源及工作台,这也是光刻机的三大核心部件,关系着光刻机的正常运行。
  荷兰ASML公司今天发布了2022年第二季度财报,当季净销售额为54.31亿欧元,好于市场预期的52.6亿欧元,上年同期为40.20亿欧元,同比增长35%。
 
  毛利润为26.65亿欧元,上一季度为17.31亿欧元,上年同期为20.45亿欧元;毛利率为49.1%,上一季度为49.0%。净利润为14.11亿欧元,上年同期为10.38亿欧元,同比增长36%。
 
  Q2新增订单金额为84.61亿欧元,其中包括54亿欧元的EUV订单,较上一季度的新增订单金额69.77亿欧元环比增长21%。
 
  本季度中,ASML公司出货了12台EUV光刻机,比Q1季度的3台大幅增长,之前因为种种原因限制了出货。
 
  值得一提的是,在本季度中,ASML公司下一代的高NA孔径EUV光刻机获得了重大突破,已经收到了来自供应商的物镜、光源及工作台,这也是光刻机的三大核心部件,关系着光刻机的正常运行。
 
  根据ASML的消息,相比目前NA孔径只有0.33的光刻机,下一代的EUV光刻机NA孔径提升到0.55,有望进一步提高芯片工艺,是制造2nm及以下工艺的关键设备。
 
  高NA孔径的EUV光刻机价格也会大幅上涨,相比目前单台10亿元的价格,下一代光刻机价格要暴涨到4亿美元,人民币26亿元以上,原型机预计2023年上半年完工,2025年首次投入使用,2026年到2030年主力出货。
 
  Intel是第一个下单新一代EUV光刻机的,首批4台应该都是他们的,不过三星及台积电也下单了,后面也会角逐新一代工艺。

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